Thiết bị Quang phổ huỳnh quang tia X vi điểm (A Series Micro XRF)

Thiết bị Quang phổ huỳnh quang tia X vi điểm (A Series Micro XRF)

Mô tả: 

Công ty TNHH Đạt Hiển xin giới thiệu sản phẩm.

A Series Micro XRF của Bowman là dòng thiết bị phân tích huỳnh quang tia X vi điểm (Micro XRF) được thiết kế chuyên biệt cho các ứng dụng bán dẫn, vi điện tử và đo độ dày lớp phủ siêu mỏng. Với khả năng hội tụ chùm tia X xuống 7,5 µm (FWHM), A Series hiện là một trong những hệ Micro XRF có độ phân giải cao nhất trên thị trường cho phân tích coating thickness.

Thiết bị sử dụng công nghệ poly-capillary optics giúp tập trung chùm tia X ổn định và chính xác, cho phép phân tích các chi tiết cực nhỏ trên wafer silicon, linh kiện bán dẫn, mạch in PCB và vi cấu trúc điện tử. Nhờ độ hội tụ vượt trội, A Series Micro XRF đặc biệt phù hợp cho các phép đo yêu cầu độ chính xác cao và độ lặp lại tốt.

Hệ thống được trang bị camera phóng đại 140X để quan sát và đo đạc các đặc trưng ở cấp micromet, kết hợp với camera phóng đại thấp cho phép quan sát tổng thể mẫu. Hệ camera kép giúp người vận hành dễ dàng định vị vùng cần phân tích, phóng to chi tiết quan tâm và lập trình điểm đo nhanh chóng, chính xác.

Ưu điểm nổi bật:

• Độ phân giải siêu cao 7,5 µm (FWHM)
  Sử dụng quang học poly-capillary, cho chùm tia X hội tụ nhỏ nhất thế giới trong phân tích độ dày lớp phủ bằng XRF.
• Chuyên dụng cho bán dẫn & vi điện tử
  Phân tích chính xác các chi tiết micromet trên wafer, linh kiện bán dẫn và PCB mật độ cao.
• Hệ camera kép thông minh
  Camera phóng đại 140X kết hợp camera tổng thể giúp định vị điểm đo nhanh, chính xác và trực quan.
• Bàn mẫu X–Y kích thước lớn, độ chính xác cao
  Hành trình lên đến 600 × 600 mm, độ chính xác ±1 µm, đáp ứng PCB lớn và đo đa điểm tự động.
• Tự động hóa mạnh mẽ
  Tích hợp nhận dạng hình ảnh (pattern recognition) và tự động lấy nét (auto-focus), giảm phụ thuộc người vận hành.
• Đo đa điểm, độ lặp lại cao
  Phù hợp cho kiểm soát chất lượng (QC) và sản xuất hàng loạt.
• Phân tích không phá hủy
  Đo độ dày và thành phần lớp phủ mà không làm hỏng mẫu.