Máy Phun Phủ Màng Mỏng Kết Hợp Laser Xung Và Bay Hơi Nhiệt PLD-T VACCOAT

Máy Phủ Màng Mỏng Kết Hợp Laser Xung Và Bay Hơi Nhiệt PLD-T VACCOAT

MÔ TẢ:

PLD-T là hệ thống phủ màng mỏng chân không cao, kết hợp hai công nghệ trong một: phủ bằng Laser xung (Pulsed Laser Deposition – PLD) và bay hơi nhiệt (Thermal Evaporation). Máy cho phép phủ nhiều loại vật liệu phức tạp, cấu trúc tinh thể lên bề mặt mẫu một cách nhanh chóng, ít thao tác chuẩn bị.

Kỹ thuật PLD giúp bào mòn vật liệu bằng xung laser mạnh, giữ nguyên thành phần của vật liệu gốc và phủ chính xác các vật liệu như oxit, nitride, polymer, hợp chất… Ngoài ra, hệ thống còn có 3 nguồn bay hơi nhiệt để phủ màng từ kim loại hoặc vật liệu khác.

Thiết bị phù hợp cho các nghiên cứu tiên tiến trong quang học, điện tử, năng lượng mặt trời và nhiều lĩnh vực khác.

Máy phủ màng mỏng PLD-T

ĐẶC ĐIỂM – TÍNH NĂNG:

– Hệ chân không cao với bơm tuabin tích hợp.

– Bơm chân không hai cấp (diaphragm hoặc scroll).

– Nguồn DC công suất lớn, phù hợp cho bay hơi nhiệt nhiều loại vật liệu.

– Hệ đo độ dày màng bằng tinh thể thạch anh, độ chính xác tới 1 nm.

– Điều khiển khí phản ứng bằng Mass Flow Controller (MFC).

– Đồng hồ đo chân không toàn dải.

– Giá đỡ mẫu xoay, điều chỉnh được độ cao và góc nghiêng (tới cỡ đế 3 inch).

– Bộ điều khiển bia PLD với tốc độ xoay tùy chỉnh.

– Trang bị 3 nguồn bay hơi nhiệt cùng feedthrough chuyên dụng.

– Cửa chắn điện tử cho quá trình bay hơi nhiệt.

– Cơ chế chọn nguồn bay hơi điều khiển bằng motor.

– Bảo hành 2 năm, đạt chuẩn CE, kèm bảo hiểm trách nhiệm toàn cầu.

– Màn hình cảm ứng trực quan, thao tác nhanh chóng.

– Phần mềm dễ sử dụng, hỗ trợ cập nhật qua mạng.

– Quá trình phủ có thể bán tự động, theo thời gian hoặc độ dày (tùy chọn).

– Cho phép điều chỉnh thông số phủ ngay trên màn hình (tùy chọn).

– Lưu trữ, ghi và hiển thị đồ thị toàn bộ thông số quá trình phủ.

ỨNG DỤNG:

– Tạo lớp phủ mỏng kim loại, bán dẫn và vật liệu cách điện.

– Nghiên cứu và chế tạo trong lĩnh vực vi điện tử và nano điện tử.

– Ứng dụng trong pin mặt trời.

– Phủ bề mặt cho các linh kiện và thiết bị quang học.

– Chế tạo cảm biến màng mỏng.

– Ứng dụng trong các thiết bị lưu trữ và màng mỏng từ tính.