Máy Phún Xạ Và Phủ Carbon Bay Hơi Nhiệt DSCT-T VACCOAT

Máy Phún Xạ Và Phủ Carbon Bay Hơi Nhiệt DSCT-T

MÔ TẢ:

Máy DSCT-T được cấu hình kết hợp 3 chức năng trong một: sputter coater, carbon coater và thermal evaporator với 3 đầu thay thế linh hoạt. Thiết bị phù hợp cho chuẩn bị mẫu hiển vi điện tử quét (SEM) và lắng đọng nhiều loại vật liệu oxy hóa/không oxy hóa (xem bảng vật liệu phủ), ví dụ: vàng (Au), hợp kim bạch kim/palladium (Pt/Pd), bạc (Ag), crôm (Cr), tungsten (W), iridi (Ir), …

Ngoài ra, có thể bay hơi nhiệt các nguồn như kim loại hoặc sợi/thanh carbon để phủ lên bề mặt mẫu không dẫn hoặc dẫn kém, phục vụ chụp SEM hay các ứng dụng khác. Đầu bay hơi nhiệt còn có thể dùng để làm sạch khẩu độ TEM và SEM. Với hệ chân không cao được trang bị bơm tuabin phân tử (turbomolecular pump), DSCT-T tạo ra lớp màng đồng đều, hạt mịn, rất phù hợp cho các mẫu cần độ phân giải và chất lượng cao như FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD.

Máy sử dụng cathode magnetron 2 inch, đi kèm nguồn DC cao áp cho sputtering và nguồn dòng cao cho bay hơi carbon/nhiệt, hỗ trợ nhiều ứng dụng thin film trong nghiên cứu như vi điện tử, nano điện tử, chuẩn bị mẫu. DSCT-T có thể trang bị cathode làm mát bằng nước cho quá trình sputtering kéo dài, hoặc tùy chọn nguồn 160 W để phủ các vật liệu khó như Cr, W và kim loại oxy hóa khác. Hệ thống cho phép phủ sputter và carbon hoàn toàn tự động, đảm bảo dễ vận hành, chính xác, lặp lại nhiều lần.

Máy phun phủ carbon và bay hơi nhiệt carbon DSCT-T

ĐẶC ĐIỂM – TÍNH NĂNG:

• Hệ chân không cao với bơm tuabin phân tử 90 L/s (Leybold)

• Bơm sơ cấp hai cấp (màng + scroll)

• Nguồn DC switching 80 W cho sputtering

• Đầu bay hơi sợi carbon

• Đầu bay hơi nhiệt

• Nguồn DC xung 0–25 A cho sợi carbon

• Nguồn DC 0–100 A cho thanh carbon (tùy chọn)

• Đồng hồ đo chân không toàn dải (Leybold)

• Bộ theo dõi độ dày quartz (độ chính xác 1 nm, độ phân giải 1 Å)

• Cathode magnetron 2 inch

• Van xả khí tự động

• Điều chỉnh quay, cao độ, nghiêng mẫu

• Giá đỡ mẫu hành tinh (tùy chọn)

• Cửa chớp điện tử

• Dễ thay thế giá đỡ mẫu (có quay là tiêu chuẩn)

• Bảo hành 2 năm, chứng nhận CE

• Sản phẩm Vac Coat được bảo hiểm trách nhiệm công cộng & sản phẩm toàn cầu

• Màn hình cảm ứng trực quan, nhập dữ liệu nhanh

• Phần mềm thân thiện, cập nhật qua mạng

• Quá trình phủ tự động, lập trình và lặp lại dễ dàng

• Chế độ phủ sputtering bán tự động theo thời gian hoặc độ dày

• Chế độ phủ sợi/thanh carbon bán tự động

• Tự động phủ sợi carbon ở chế độ flash hoặc xung

• Tự động phủ thanh carbon ở chế độ xung hoặc tăng dần

• Ghi lại, hiển thị đồ thị thông số phủ

• Lưu công thức phủ để dùng lại

ỨNG DỤNG:

• Phủ hạt mịn kim loại quý cho chuẩn bị mẫu SEM, FE-SEM, EDX, TEM

• Ứng dụng vi/nano điện tử

• Tạo lớp dẫn điện

• Cảm biến màng mỏng

• Tế bào năng lượng mặt trời

• Linh kiện quang học

• Kỹ thuật phủ GLAD

• Xử lý lưới TEM bằng plasma (tùy chọn)