Máy Phủ Phún Xạ Và Carbon Bơm Turbo DSCT
MÔ TẢ:
DSCT là hệ thống phủ chân không cao, tích hợp phún xạ kim loại và bay hơi nhiệt carbon trong cùng một thiết bị, chuyên dùng cho chuẩn bị mẫu SEM, FE-SEM, TEM, EDS/WDS, EBSD và các ứng dụng màng mỏng. Máy có thể phủ các kim loại quý (Au, Pd, Pt, Au/Pd) và cả kim loại oxy hóa khó (Cr, W), đồng thời bay hơi carbon từ sợi hoặc que để tạo lớp dẫn điện trên mẫu không dẫn.
Với bơm turbo chân không cao và cathode làm mát bằng nước, DSCT tạo lớp màng đồng đều, hạt mịn, lý tưởng cho phân tích độ phân giải cao. Máy có màn hình cảm ứng, phần mềm thân thiện, hỗ trợ phủ tự động/bán tự động, kiểm soát chính xác tốc độ & độ dày, đồng thời lưu trữ công thức phủ để lặp lại. Hệ thống xử lý được mẫu tối đa 4 inch, phù hợp cho chuẩn bị mẫu hiển vi, nghiên cứu điện tử nano/vi mô, phủ lớp dẫn điện, GLAD sputtering và nhiều ứng dụng khoa học khác.
Máy phủ phún xạ và carbon bơm turbo DSCT
ĐẶC ĐIỂM – TÍNH NĂNG:
-
Bơm turbo chân không cao 90 L/s (Leybold) + bơm sơ cấp hai cấp (diaphragm & scroll).
-
Nguồn DC 80 W cho phún xạ.
-
Đầu bốc bay sợi carbon, nguồn 0–25 A (sợi) và 0–100 A (que, tùy chọn).
-
Đồng hồ đo độ dày tinh thể thạch anh (độ chính xác 1 nm, độ phân giải 1 Å).
-
1 cathode magnetron 2 inch.
-
Cánh quạt xả khí tự động.
-
Bàn mẫu xoay, chỉnh độ cao và nghiêng (có tùy chọn bàn hành tinh).
-
Cửa chớp điện tử, thay thế bàn mẫu dễ dàng.
-
Bảo hành 2 năm, đạt chuẩn CE, bảo hiểm trách nhiệm toàn cầu.
-
Màn hình cảm ứng trực quan, phần mềm thân thiện, cập nhật qua mạng.
-
Quy trình phủ lặp lại, lập trình sẵn.
-
Phủ phún xạ bán/tự động theo thời gian hoặc độ dày.
-
Phủ carbon bán/tự động với sợi/que carbon.
-
Chế độ phủ carbon sợi: flash hoặc xung.
-
Chế độ phủ carbon que: xung hoặc tăng dần.
-
Ghi và vẽ biểu đồ thông số phủ, lưu công thức phủ để tái sử dụng.
ỨNG DỤNG:
-
Phủ kim loại quý hạt mịn cho chuẩn bị mẫu SEM, FE-SEM, EDX, TEM.
-
Nghiên cứu nano & vi điện tử.
-
Tạo lớp dẫn điện trên mẫu không dẫn điện.
-
Phủ phún xạ GLAD


Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.