Hỗ trợ khách hàng
HOTLINE 1 0909 93 08 82
HOTLINE 2 0345 81 94 96
HOTLINE 3 0938 47 09 88
Máy Quang Khắc Chùm Điện Tử ZEL304G ZepTools Lithography
Máy quang khắc chùm điện tử ZEL304G là hệ thiết bị electron beam lithography dùng chùm điện tử hội tụ thay cho ánh sáng để ghi trực tiếp mẫu vẽ lên lớp cảm quang, đạt độ rộng đường dưới 10 nm chỉ trong một lần phơi. Liên Hệ Đạt Hiển: 0938.470.988
| Thông số | Giá trị |
| Súng điện tử | Súng phát xạ trường Schottky (Schottky Field Emission) |
| Độ rộng đường nhỏ nhất (1 lần phơi) | < 10 nm |
| Chế độ quét | Quét tuần tự kiểu Z, quét vòng kiểu S, quét xoắn ốc và nhiều chế độ quét vector khác |
| Chế độ phơi | Hiệu chuẩn trường, ghép trường (field stitching), căn chỉnh chồng lớp (overlay), phơi tự động nhiều lớp |
| Bàn mẫu | Bàn mẫu giao thoa kế laser độ chính xác cao |
| Kênh điều khiển ngoại vi | Quét chùm điện tử, di chuyển bàn mẫu, chặn chùm (beam blanking), thu tín hiệu điện tử thứ cấp |
| Ổn định môi trường | Chắn từ chủ động (active magnetic shielding) + giảm chấn âm thanh |
| Bù trôi nhiệt | Dưới 0,1 °C/giờ |
| Hiệu chỉnh hiệu ứng lân cận | Có PEC (proximity effect correction) và công cụ điều biến liều |
| Định dạng mẫu vẽ | Hỗ trợ nhiều định dạng |
| Chẩn đoán từ xa | Có |
Sản phẩm tương tự
Giải pháp Kính hiển vi điện tử để bàn ZEM10 nhỏ gọn, giao diện thân thiện, phù hợp cho việc soi mẫu nhanh và đào tạo. Đào tạo giáo dục, soi kiểm tra bề mặt mẫu nhanh, phòng kiểm nghiệm vừa và nhỏ. Liên Hệ Đạt Hiển: 0938.470.988
Kính hiển vi điện tử để bàn ZEM18 hiệu suất cao, cấu hình nhỏ gọn, vận hành tự động nhanh chóng cho quan sát cấu trúc vi mô. Tự động lấy nét và chỉnh dây tóc; Khởi tạo chân không nhanh; Độ phóng đại rộng
Kính hiển vi SEM để bàn ZEM20 sử dụng dây tóc Tungsten, độ phóng đại cao, tối ưu chi phí cho phân tích vi mô hàng ngày. Phân tích vi mô bề mặt, kiểm tra mẫu công nghiệp, giảng dạy & đào tạo, kiểm soát chất lượng QC. Nguồn phát Tungsten Filament; Điện áp tăng tốc linh hoạt; Thiết kế để bàn nhỏ gọn, dễ bảo trì
Máy quang khắc không mặt nạ dòng ZML dùng công nghệ vi gương số DMD để chiếu mẫu vẽ theo thời gian thực, bỏ hẳn khâu chế tạo mặt nạ vật lý. Chi tiết nhỏ nhất đạt 0,5 µm, độ chính xác chồng lớp tới 0,5 µm tuỳ model. Liên Hệ Đạt Hiển: 0938.470.988
Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường FE-SEM độ phân giải siêu cao, ứng dụng phân tích cấu trúc nano và vật liệu tiên tiến.
Hệ thống kính hiển vi ZEM Series đồng bộ SEM và phổ tán sắc năng lượng tia X (EDS) giúp phân tích đồng thời hình thái và thành phần hóa học nguyên tố. Liên Hệ Đạt Hiển: 0938.470.988
Kính hiển vi điện tử quét để bàn nguồn phát LaB6 độ sáng cao, phân tích hình thái bề mặt và cấu trúc vi mô nhỏ gọn. Kiểm tra chất lượng linh kiện, kiểm tra vật liệu kim loại, polyme, sinh học, phòng lab đại học. Nguồn phát LaB6 cathode độ sáng & tuổi thọ cao; Thiết kế để bàn tiết kiệm diện tích; Thao tác vận hành nhanh.
Hãy là người đầu tiên nhận xét “Máy Quang Khắc Chùm Điện Tử ZEL304G ZepTools Lithography”
Đặt mua Máy Quang Khắc Chùm Điện Tử ZEL304G ZepTools Lithography
Máy Quang Khắc Chùm Điện Tử ZEL304G ZepTools Lithography
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.