Kính Hiển Vi Điện Tử Quét Kết Hợp Chùm Ion Hội Tụ FIB-SEM CIQTEK

Kính Hiển Vi Điện Tử Quét FIB-SEM DB550

MÔ TẢ:

Kính hiển vi điện tử quét CIQTEK DB550 là hệ thống FIB-SEM tích hợp, kết hợp cột chùm ion hội tụ để phân tích nano và chuẩn bị mẫu. Máy sử dụng công nghệ quang học điện tử “super tunnel”, thiết kế thấu kính phi từ, độ sai lệch thấp, cùng tính năng “điện áp thấp – độ phân giải cao”, đảm bảo khả năng phân tích ở cấp nano.

Hệ thống trang bị nguồn ion kim loại lỏng Ga⁺ ổn định, tạo chùm ion chất lượng cao cho gia công nano chính xác. DB550 là trạm làm việc “tất cả trong một” cho phân tích và chế tạo nano, tích hợp cánh tay thao tác nano, hệ thống bơm khí, và phần mềm giao diện trực quan.

Model FIB-SEM DB550

ĐẶC ĐIỂM – TÍNH NĂNG:

• Công nghệ quang học điện tử “SuperTunnel”

• Chùm ion Gallium (Ga⁺)

• Khả năng mở rộng vượt trội

• Tích hợp hệ thống bơm khí (Gas Injection System)

• Tích hợp tay thao tác nano (Nano-Manipulator)

• Buồng nạp/thay mẫu nhanh (Specimen Exchange Loadlock) – hỗ trợ mẫu đến 8 inch

ỨNG DỤNG:

1. BÁN DẪN (SEMICONDUCTOR): Trong ngành bán dẫn, chip IC thường gặp lỗi cần phân tích. Kỹ thuật FIB cho phép cắt mạch, quan sát chi tiết và xác định nguyên nhân hỏng, giúp nâng cao độ tin cậy sản phẩm.

Quan sát mặt cắt ngang	Phay diện rộng trên mặt cắt PCB	Chuẩn bị mẫu TEM

2. NGÀNH CÔNG NGHIỆP NĂNG LƯỢNG MỚI: Quan sát và phân tích mặt cắt ngang vật liệu phục vụ nghiên cứu và phát triển quy trình.

Bề mặt vật liệu pin Li-ion ba thành phần	Mặt cắt vật liệu pin Li-ion ba thành phần	Vị trí xử lý bề mặt của màng trao đổi proton

3. VẬT LIỆU CERAMIC: Hệ thống FIB-SEM cho phép gia công và chụp ảnh vật liệu gốm ở cấp độ micro–nano, kết hợp nhiều chế độ phát hiện tín hiệu (BSE, EDX, EBSD, SIMS) để nghiên cứu cấu trúc vật liệu chi tiết đến không gian 3D.

Bề mặt vật liệu gốm	Bề mặt vật liệu gốm	Mặt cắt ngang của vật liệu gốm

4. VẬT LIỆU HỢP KIM: Pha gia cường (reinforced phases) được tạo ra bằng cách thêm gốm, kim loại hoặc sợi vào kim loại để tăng độ bền và độ cứng. Mẫu TEM chuẩn bị bằng FIB-SEM cho phép quan sát các pha gia cường, biên giới nguyên tử và được sử dụng cho các phân tích như TKD, hiển vi kim tương, phân tích thành phần và thử nghiệm in-situ.

Bề mặt kim loại Titanium	Lamella Lift-out by Nano-Manipulator	Pha gia cường trong Lamella Titan

…và nhiều lĩnh vực khác, v.v.