Thiết Bị Phún Xạ Magnetron DST1-300 VACCOAT

Thiết Bị Phún Xạ Magnetron DST1-300

MÔ TẢ:

Máy phủ kim loại magnetron để bàn DST1-300 với buồng phủ lớn 300 mm, phù hợp cho mẫu kích thước tới 15 cm hoặc nhiều mẫu nhỏ cùng lúc. Thiết bị cho phép phủ liên tục (không giới hạn thời gian), tạo lớp màng mỏng đồng đều, hạt mịn từ kim loại, oxit kim loại và điện môi. Với nguồn DC 600W hoặc RF 300W (tùy chọn), DST1-300 là giải pháp lý tưởng cho vi – nano điện tử và chuẩn bị mẫu SEM.

Máy phủ màng mỏng magnetron để bàn DST1-300

ĐẶC ĐIỂM – TÍNH NĂNG:

– Trang bị bơm turbo phân tử Leybold và bơm chân không hai cấp (màng & scroll pump), cho mức chân không cao ổn định.

– Đồng hồ đo chân không toàn dải (Leybold).

– Nguồn DC 600 W mạnh mẽ, đảm bảo quá trình phủ hiệu quả.

– Bộ giám sát độ dày tinh thể thạch anh với độ chính xác 1 nm và độ phân giải 1 Å.

– Van khí điện tử điều khiển chính xác lượng khí vào buồng phủ.

– Mẫu có thể xoay, điều chỉnh độ cao và góc nghiêng.

– Hỗ trợ cổng bay hơi nhiệt (tùy chọn).

– Cửa chắn điện tử, dễ dàng thay thế bàn giữ mẫu (bàn xoay là tiêu chuẩn).

– Bảo hành 2 năm, tuân thủ tiêu chuẩn CE.

– Toàn bộ sản phẩm được bảo hiểm trách nhiệm toàn cầu (thiệt hại tài sản hoặc tai nạn do hệ thống Vac Coat gây ra).

– Màn hình cảm ứng trực quan điều khiển quá trình phủ, nhập liệu nhanh chóng.

– Phần mềm thân thiện, có thể nâng cấp qua mạng.

– Kiểm soát tốc độ phủ, tạo lớp màng hạt mịn hơn.

– Hỗ trợ quy trình phủ bán tự động/hoàn toàn tự động (tùy chọn).

– Chế độ phủ lặp lại, lập trình được trong chế độ tự động.

– Có thể phủ theo thời gian hoặc theo độ dày (thủ công/tự động).

– Lưu trữ công thức phủ, dễ dàng tái sử dụng.

– Khả năng ghi lại và hiển thị đồ thị thông số phủ.

ỨNG DỤNG:

– Phủ màng mỏng kim loại, bán dẫn và điện môi

– Công nghệ điện tử nano và vi mạch

– Ứng dụng trong pin năng lượng mặt trời

– Phủ lớp bảo vệ/quang học cho linh kiện quang học

– Chế tạo cảm biến màng mỏng

– Thiết bị màng mỏng từ tính

– Thực hiện phủ GLAD (tùy chọn)

– Chuẩn bị mẫu SEM và FE-SEM với cấu trúc hạt siêu mịn