Thiết Bị Phun Phủ Kim Loại Chân Không DST1-170 VACCOAT

Thiết Bị Phun Phủ Kim Loại Để Bàn DST1-170

MÔ TẢ:

Máy phủ kim loại chân không cao model DST1-170 là hệ thống nhỏ gọn, dùng để phủ các lớp kim loại (cả oxi hóa và không oxi hóa) trong những chu kỳ lắng đọng ngắn. Thiết bị có khả năng tạo ra lớp màng mỏng đồng đều, hạt mịn trong thời gian nhanh, đặc biệt thích hợp cho chuẩn bị mẫu SEM.

DST1-170 có thể lắng đọng nhiều loại vật liệu khác nhau như vàng (Au), hợp kim platin/palladi (Pt/Pd), bạc (Ag), crom (Cr), vonfram (W), iridi (Ir),…

Máy phun kim loại chân không cao để bàn DST1-170

ĐẶC ĐIỂM – TÍNH NĂNG:

– Đạt mức chân không cao nhờ tích hợp bơm turbo 90 L/s (Leybold)

– Bơm cánh quay hai cấp (diaphragm và scroll pump)

– Đồng hồ đo chân không đa dải

– Nguồn DC 80 W

– Cảm biến đo độ dày tinh thể thạch anh với độ chính xác 1 nm và độ phân giải 1 Å

– Một cathode nam châm 2 inch

– Van điện tử cấp khí Argon

– Mẫu có thể xoay, điều chỉnh chiều cao và góc nghiêng

– Bàn xoay hành tinh cho mẫu

– Trang bị cửa trượt điện tử (electronic shutter)

– Khung đặt mẫu dễ thay đổi, bàn xoay là tiêu chuẩn

– Bảo hành 2 năm

– Đạt tiêu chuẩn CE

– Sản phẩm Vac Coat được bảo hiểm toàn cầu về trách nhiệm công cộng và sản phẩm trong trường hợp xảy ra hư hại tài sản hoặc thương tích.

– Màn hình cảm ứng trực quan để điều khiển quá trình phủ và nhập dữ liệu nhanh chóng

– Phần mềm thân thiện, có thể cập nhật qua mạng

– Điều khiển tốc độ phủ để tạo cấu trúc hạt mịn hơn

– Quy trình phủ bán/tự động hoàn toàn (tùy chọn)

– Quy trình phủ có thể lập trình và lặp lại ở chế độ tự động

– Phủ theo thời gian hoặc độ dày, bằng tay hoặc tự động

– Ghi lại và hiển thị đồ thị các thông số phủ

– Lưu trữ công thức phủ để tái tạo kết quả ổn định và lặp lại

ỨNG DỤNG:

– Tạo lớp phủ cấu trúc hạt mịn, tối ưu cho chuẩn bị mẫu SEM và FE-SEM

– Ứng dụng trong lĩnh vực nano và vi điện tử

– Công nghệ pin mặt trời

– Phủ lớp mỏng cho linh kiện và thiết bị quang học

– Chế tạo cảm biến màng mỏng

– Hỗ trợ kỹ thuật GLAD (Glancing Angle Deposition) để tạo màng mỏng có cấu trúc đặc biệt