Thiết Bị Phun Phủ Kim Loại Bằng Bay Hơi Nhiệt DTE VACCOAT

Thiết Bị Phun Phủ Kim Loại Bằng Bay Hơi Nhiệt DTE

MÔ TẢ:

Thiết bị phủ kim loại bằng bay hơi nhiệt DTE là hệ thống phủ màng mỏng dùng trong nghiên cứu và chuẩn bị mẫu cho kính hiển vi điện tử. Thiết bị có buồng nhỏ gọn, chi phí hợp lý, cho phép phủ nhanh các kim loại quý và kim loại oxi hóa. DTE được trang bị nguồn điện công suất 1.2 kW cùng nhiều dạng nguồn bay hơi (thuyền, giỏ, cuộn dây), giúp tạo lớp màng mỏng đồng đều trên nhiều loại bề mặt. Đây là giải pháp lý tưởng cho các ứng dụng nghiên cứu, phân tích và chuẩn bị mẫu SEM. So với phương pháp khác như sputter, bay hơi nhiệt thường cho lớp phủ tinh khiết hơn, ít hư hại mẫu vì không có ion bắn phá.

Máy bay hơi nhiệt chân không cao để bàn DTE

ĐẶC ĐIỂM – TÍNH NĂNG:

– Nguồn điện DC dòng điện cao (Tối đa 12 V, 100 A)

– Buồng chân không đường kính 170 mm, làm bằng Borosilicate-SST.

– Hệ thống chân không cao với bơm turbo Leybold 90 l/s.

– Bơm hỗ trợ 2 cấp (tùy chọn: màng hoặc scroll).

– Hệ thống đo độ dày màng bằng tinh thể thạch anh, độ chính xác 1 nm.

– Cửa chắn điện tử (Electronic shutter).

– 2 cổng điện dòng cao để gắn nguồn bay hơi nhiệt.

– Giá đỡ nguồn bay hơi di động, có thể phủ theo hướng từ trên xuống hoặc từ dưới lên.

– Van xả khí tự động.

– Đồng hồ đo chân không toàn dải.

– Kẹp mẫu S-Clip trên nắp buồng.

– Giá đỡ mẫu quay 2 inch (tùy chọn), có thể điều chỉnh độ cao, nghiêng.

– Bảo hành 2 năm, đạt chuẩn CE.

– Có bảo hiểm trách nhiệm toàn cầu đối với sản phẩm Vac Coat.

– Màn hình cảm ứng trực quan, dễ điều khiển quá trình hút chân không và vận hành thiết bị.

– Phần mềm thân thiện, có thể cập nhật qua mạng.

– Điều khiển bán tự động quá trình bay hơi.

– Kiểm soát độ dày màng theo cài đặt.

– Ghi lại và hiển thị biểu đồ các thông số phủ.

ỨNG DỤNG:

– Tạo màng mỏng kim loại.

– Ứng dụng trong nano và vi điện tử.

– Ứng dụng trong công nghệ pin mặt trời.

– Cảm biến màng mỏng.

– Chuẩn bị mẫu cho kính hiển vi điện tử quét (SEM, FE-SEM).

– Bay hơi sợi carbon ở chế độ flash cho SEM.