Máy Phun Phủ Màng Mỏng Chân Không Đa Năng DST3

Máy Phun Phủ Màng Mỏng Chân Không Đa Năng DST3

MÔ TẢ:

DST3 là hệ thống phủ màng mỏng chân không cao, được bơm bằng turbo molecular pump, tích hợp ba cathode sputter trong một buồng phủ lớn (đường kính 300 mm). Ba cathode magnetron đường kính 2” được làm mát bằng nước giúp máy vận hành ổn định và thích hợp cho các quá trình phủ kéo dài.

Thiết bị được trang bị nguồn DC và tùy chọn RF, có thể phủ nhiều loại vật liệu khác nhau: kim loại (quý, oxy hóa), bán dẫn và điện môi. Với nguồn RF, hệ thống còn có matching box tự động giúp giảm công suất phản xạ trong quá trình sputtering, tối ưu hiệu suất phủ.

Ngoài ra, máy có các tùy chọn nâng cao để tăng độ bám dính và cải thiện cấu trúc màng, chẳng hạn như:

• Gia nhiệt mẫu đến 500˚C trong quá trình phủ.
• Điện áp phân cực DC-300V áp dụng trực tiếp lên bề mặt mẫu.

Thiết bị phun phủ chân không đa năng DST3

ĐẶC ĐIỂM – TÍNH NĂNG:

• Hệ chân không cao với bơm turbo tích hợp.
• Bơm chân không hai cấp (Rotary vane + Diaphragm/Scroll pump).
• Nguồn DC và RF (tùy chọn) phù hợp cho kim loại, bán dẫn và điện môi.
• Ba cathode magnetron 2” làm mát bằng nước, thiết kế nghiêng – hỗ trợ phủ hợp kim (DST3-A) và phủ đa lớp.
• Bàn giữ mẫu lớn 8 inch (DST3-S).
• Mặt nạ cathode thiết kế tối ưu cho lớp phủ đồng đều trên mẫu lớn (DST3-S).
• Hệ thống giám sát độ dày bằng tinh thể thạch anh (cố định & di động), độ chính xác đến 1 nm, đo theo thời gian thực.
• Điều khiển khí vào bằng Mass Flow Controller (MFC), kiểm soát chính xác áp suất và dòng Ar/khí phản ứng.
• Đồng hồ đo áp suất chân không toàn dải.
• Hệ thống chọn cathode tự động.
• Giá giữ mẫu có thể xoay, điều chỉnh độ cao và góc nghiêng (cho holder 3 inch).
• 3 cửa chặn (shutter) thủ công hoặc điện tử (tùy chọn).
• Bảo hành 2 năm, đạt chứng nhận CE.
• Sản phẩm Vac Coat được bảo hiểm toàn cầu về trách nhiệm sản phẩm và thiệt hại tài sản.
• Màn hình cảm ứng trực quan, dễ thao tác và nhập liệu nhanh.
• Phần mềm thân thiện, có thể cập nhật qua mạng.
• Chế độ phủ tự động theo thời gian hoặc độ dày (tùy chọn).
• Quy trình phủ có thể lập trình, lưu trữ và lặp lại trong chế độ tự động.
• Điều chỉnh thông số DC/RF trực tiếp trên màn hình cảm ứng (tùy chọn).
• Tự động ghi lại và hiển thị biểu đồ thông số phủ.
• Hệ thống chọn target hoàn toàn tự động.

ỨNG DỤNG:

• DST3 được ứng dụng rộng rãi trong nghiên cứu và công nghiệp:
• Phủ màng mỏng kim loại, bán dẫn và điện môi.
• Công nghệ nano và vi điện tử.
• Chế tạo pin mặt trời.
• Quá trình đồng phủ (Co-sputtering).
• Kỹ thuật phủ GLAD.
• Phủ linh kiện quang học.
• Chế tạo cảm biến màng mỏng.
• Thiết bị điện tử và vật liệu từ tính màng mỏng.
• Chuẩn bị mẫu SEM, FE-SEM với lớp phủ hạt mịn, đồng đều.