Máy Phun Phủ Màng Mỏng Chân Không Đa Năng DST3-T

Máy Phun Phủ Màng Mỏng Chân Không Đa Năng DST3-T

MÔ TẢ:

DST3-T là hệ thống phủ chân không đa năng để bàn, tích hợp máy bốc bay nhiệt (thermal evaporator) và máy phủ sputter ba cathode (triple-target sputter coater) trong cùng một thiết bị nhỏ gọn. Hệ thống được trang bị bơm turbo-molecular kết hợp bơm chân không hai cấp, cho phép đạt chân không cao, thích hợp cho việc phủ nhiều loại vật liệu khác nhau.
Buồng phủ lớn đường kính 300 mm cùng ba cathode magnetron làm mát bằng nước giúp máy vận hành ổn định trong thời gian dài. Máy hỗ trợ cả nguồn DC và RF, có thể phủ kim loại, bán dẫn, điện môi, kể cả vật liệu quý và oxy hóa.

Thiết bị phun phủ màng mỏng đa năng DST3-T

ĐẶC ĐIỂM – TÍNH NĂNG

• Hệ chân không cao với bơm turbo tích hợp.
• Bơm chân không hai cấp (Rotary vane + Diaphragm/Scroll pump).
• Nguồn DC và RF (tùy chọn), phù hợp phủ kim loại, bán dẫn và điện môi.
• Ba cathode magnetron 2”, làm mát bằng nước, thiết kế nghiêng – thích hợp phủ hợp kim (DST3-TA) và màng đa lớp.
• Bàn giữ mẫu lớn 8 inch (DST3-TS).
• Mặt nạ cathode tối ưu hóa độ phủ đồng đều trên mẫu lớn (DST3-TS).
• Hệ thống giám sát độ dày bằng tinh thể thạch anh (cố định & di động), độ chính xác đến 1 nm, đo theo thời gian thực.
• Điều khiển khí vào bằng Mass Flow Controller (MFC), kiểm soát chính xác áp suất và dòng Ar/khí phản ứng.
• Đồng hồ đo áp suất chân không toàn dải.
• Hệ thống chọn cathode tự động.
• Giá giữ mẫu có thể xoay, điều chỉnh độ cao và góc nghiêng (cho holder 3 inch).
• 3 cửa chặn (shutter) thủ công hoặc điện tử (tùy chọn).
• Tích hợp 1 nguồn bay hơi nhiệt (thermal evaporation source).
• Bảo hành 2 năm, đạt chứng nhận CE.
• Sản phẩm Vac Coat được bảo hiểm toàn cầu về trách nhiệm sản phẩm và thiệt hại tài sản.
• Màn hình cảm ứng trực quan để điều khiển quá trình phủ và nhập liệu nhanh.
• Phần mềm thân thiện, có thể cập nhật qua mạng.
• Chế độ phủ tự động theo thời gian hoặc độ dày (tùy chọn).
• Quy trình phủ có thể lặp lại và lập trình trong chế độ tự động.
• Điều chỉnh thông số DC/RF/High-current ngay trên màn hình cảm ứng (tùy chọn).
• Tự động ghi lại, vẽ biểu đồ thông số quá trình phủ.
• Hệ thống chọn cathode hoàn toàn tự động.

ỨNG DỤNG:

DST3-T được ứng dụng rộng rãi trong nghiên cứu và sản xuất:

• Phủ màng mỏng kim loại, bán dẫn và điện môi.
• Công nghệ nano và vi điện tử.
• Pin mặt trời (solar cells).
• Quá trình đồng phủ.
• Kỹ thuật phủ GLAD.
• Phủ linh kiện quang học.
• Chế tạo cảm biến màng mỏng.
• Vật liệu từ tính và thiết bị điện tử màng mỏng.
• Chuẩn bị mẫu SEM, FE-SEM với lớp phủ hạt mịn, đồng đều.