Máy Phun Phủ Màng Mỏng Chân Không Đa Năng DST2-TG VACCOAT

Máy Phun Phủ Màng Mỏng Chân Không Đa Năng DST2-TG

MÔ TẢ:

DST2-TG là hệ thống phủ đa chân không kết hợp máy phủ sputter hai mục tiêu và máy bay hơi nhiệt trong cùng một thiết bị nhỏ gọn để bàn. Nhờ tích hợp buồng chân không cao cấp, thiết bị cho phép chuyển đổi linh hoạt giữa bay hơi nhiệt và sputtering để tạo lớp phủ đa lớp mà không cần phá chân không.

Khi vận hành trong glove box, hệ thống cung cấp môi trường bảo vệ tuyệt đối, tránh mẫu tiếp xúc với không khí hay ẩm, đảm bảo lớp phủ đạt độ tinh khiết cao và an toàn khi thao tác trong khí trơ.

Hệ thống phủ sputter và bay hơi nhiệt trong hộp găng DST2-TG

ĐẶC ĐIỂM – TÍNH NĂNG:

1. Hệ thống bơm:

– Bơm chân không sơ cấp 2 cấp (Rotary vane)

– Bơm turbo 90 l/s tích hợp, đạt chân không cao

– Đồng hồ đo áp suất toàn dải

2. Buồng phủ:

– Cánh tay nâng điện tự động đóng/mở buồng

– Buồng kính có thể điều khiển bằng phần mềm (lên/xuống)

3. Sputtering & bay hơi:

– 2 cathode sputter nước làm mát (2”)

– 2 cảm biến thạch anh (độ chính xác 1 nm) theo dõi độ dày theo thời gian thực

– 2 bộ điều khiển lưu lượng khí MFC cho điều chỉnh chính xác áp suất và chân không

– Cửa chắn điện tử, động cơ chọn catốt tự động

– Hỗ trợ phủ mẫu xoay, điều chỉnh độ cao và góc nghiêng

4. Phần mềm & điều khiển:

– Màn hình cảm ứng trực quan, thao tác nhanh chóng

– Phần mềm thân thiện, dễ nâng cấp qua mạng

– Quá trình phủ bán/tự động, nhiều chế độ: theo thời gian hoặc theo độ dày

– Cho phép lưu công thức phủ để lặp lại dễ dàng

– Hỗ trợ phủ đa lớp, đồng phủ (co-sputtering), GLAD sputtering với tùy chọn dao động mẫu

5. An toàn & tin cậy:

– Tuân thủ CE, bảo hành 2 năm

– Được bảo hiểm trách nhiệm sản phẩm toàn cầu

ỨNG DỤNG:

– Phủ màng kim loại, bán dẫn và điện môi

– Điện tử nano và vi mô

– Ứng dụng pin màng mỏng và pin mặt trời

– Quá trình đồng phủ (Co-sputtering), GLAD sputtering

– Phủ linh kiện quang học, cảm biến màng mỏng, thiết bị từ tính

– Tạo lớp phủ hạt mịn chuẩn bị mẫu cho SEM và FE-SEM