Máy Phân Tích Nhiễu Xạ Tia X Hiệu Suất Cao AXRD HR

Các máy phân tán tia X siêu cao độ phân giải cho Màng mỏng và Vật liệu Tinh thể Đơn

AXRD HR được trang bị một hệ thống goniometer sáng tạo được thiết kế để cung cấp độ chính xác và độ chính xác tối đa. Sử dụng những tiến bộ mới nhất trong công nghệ động cơ và bộ mã hóa, hệ thống này có các khả năng cần thiết để thực hiện các thí nghiệm siêu cao độ phân giải trên các lớp mỏng epitaxial của bạn, các lớp phủ đa lớp và tinh thể đơn.

Với hệ thống hàng đầu này, bạn có thể thực hiện phản xạ tia X (XRR) để đặc điểm hóa các tính chất bề mặt vật lý của các lớp mỏng epitaxial, các lớp phủ đa lớp và các giao diện của bạn. Các đường cong lắc siêu cao độ phân giải có thể được sử dụng để phân tích các lớp mỏng tinh thể đơn epitaxial và xác định sự hoàn hảo của tinh thể của các tinh thể đơn khối. Cuối cùng, bản đồ không gian đối nghịch cung cấp thông tin quý giá về các lớp mỏng epitaxial và làm cho việc phân tích các lớp căng thẳng trở nên có thể.

PHẢN XẠ TIA X (XRR)

Đặc điểm hóa các tính chất bề mặt vật lý của các lớp mỏng, lớp phủ đa lớp và các giao diện của bạn.

Xác định các thông tin sau:

Độ dày của lớp

Độ dày và độ không đều của bề mặt và giao diện

Mật độ

Thành phần hóa học

Mật độ lỗi

Các lớp không có tổ chức tinh thể, đa tinh thể và tinh thể đơn đều có thể được phân tích.

ĐƯỜNG CURVE LẮC

Các đường cong lắc siêu cao độ phân giải có thể được sử dụng để phân tích các lớp mỏng tinh thể đơn epitaxial và xác định sự hoàn hảo của tinh thể của các tinh thể đơn khối.

Xác định các thông tin sau:

Thành phần và độ dày của lớp

Sự không khớp, thư giãn (độ căng của lưới tinh thể)

Góc nghiêng, cong và sai biệt của lớp

Mosaicity

Mật độ lỗi

BẢN ĐỒ KHÔNG GIAN ĐỐI NGHỊCH

Kỹ thuật siêu cao độ phân giải này cung cấp thông tin nhiều nhất về các lớp mỏng epitaxial và là cần thiết để phân tích các lớp căng thẳng.

Xác định các thông tin sau:

Tách hiệu ứng dịch chuyển đỉnh Bragg để cho phép xác định căng thẳng, thành phần, tham số lưới tinh thể và độ dày của lớp chính xác

Phân biệt giữa căng thẳng và sự thay đổi về thành phần

Phân biệt giữa sự mở rộng do sự phân bố mosaic hoặc cong mài mòn